IPC分类号：
B29C43/58 | B29C43/20 | B29C43/34 | H05K3/46
摘要：
层叠成型品的制造方法是进行对临时粘合或层压有层叠膜的层叠成型品的层压及平坦化的层叠成型品的制造方法，包含以下的工序。在工序(a)中，预先准备预定的构造构成体各自不同的多个按压板。在工序(b)中，根据被新临时粘合或层压的基材的状态从多个按压板中选择一个按压板。在工序(c)中，通过针对具有平坦的主表面的盘体的主表面安装所选择的按压板来准备压紧部。在工序(d)中，控制压紧部的温度，以使得压紧部的温度成为预定范围内。在工序(e)中，将压紧部按压于基材的表面。
技术问题语段：
在制造多层化的层叠成型品时，由于基材厚度、凹凸分布等形状要素、层叠成型品的密度、硬度等物性要素以及层叠成型品的翘曲、扭曲等缺陷要素等按层叠阶段或批次而不同，因此仅使用现有技术难以恰当应对。特别是，在近年来的高性能化的积层基板的制造过程中，由于施加于基材的凹凸图案具有微细化、深度化以及三维复杂分布化的倾向，与此相伴，上述的各要素叠加且不确定地作用，因此出现了层叠成型品的品质偏差变大的问题。因此，从提高层叠成型品成品率的观点出发，强烈期望层叠成型品的各层叠阶段、各批次的品质稳定。
技术功效语段：
本专利文本涉及一种制造多层化的层叠成型品的方法和系统，其技术功效是可以适当制造多层化的层叠成型品。
权利要求：
1.一种层叠成型品的制造方法，其特征在于，
具有对临时粘合或层压有层叠膜的至少一部分的基材进行加压的层叠工序，通过多次重复所述层叠工序来制造层叠有预定层数的层叠膜的层叠成型品，
所述层叠成型品的制造方法包括下述工序：
(a)预先准备多个按压板，所述多个按压板各自的预定的构造构成体不同；
(b)根据新临时粘合或层压有所述层叠膜的至少一部分的所述基材的状态，从多个所述按压板中选择至少一个所述按压板；
(c)通过将所述选择的所述按压板安装到具有平坦的主表面的盘体的所述主表面来准备压紧部；
(d)控制所述压紧部的温度以使得所述压紧部的温度成为预定范围内；以及
(e)将所述压紧部按压于所述基材的表面。
2.根据权利要求1所述的层叠成型品的制造方法，其特征在于，
每当所述基材临时粘合或层压所述层叠膜时，执行所述工序(b)至所述工序(e)。
3.根据权利要求1或2所述的层叠成型品的制造方法，其特征在于，
所述工序(a)中的所述构造构成体的构成要素包含由多个种类的弹性体、多个种类的刚体、多个种类的纤维体、多个种类的颗粒体以及空隙构成的构成要素的组中的至少两个所述构成要素作为所述选择的基准。
4.根据权利要求3所述的层叠成型品的制造方法，其特征在于，
所述工序(a)中的所述构造构成体包含多个不同的所述构成要素二维或三维地形成的预定的模式构造。
5.根据权利要求3或4所述的层叠成型品的制造方法，其特征在于，
所述工序(a)中的所述构造构成体的所述构成要素的物性要素包含所述构成要素的化学成分组成、厚度、重量、弹性模量、表面硬度、截面硬度、拉伸强度、拉伸屈服强度、压缩强度、堆积密度、截面积、截面形状、投影面积、投影轮廓形状、表面粗糙度、平面度、平行度、热导率、比热容、电导率、介电常数、磁化率、吸水率、反射率以及光泽度中的至少任一者。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的层叠成型品的制造方法，其特征在于，
所述工序(b)中的所述基材的状态为预先层叠于所述基材的所述层叠膜的层数。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的层叠成型品的制造方法，其特征在于，
所述工序(b)中的所述基材的状态为预先层叠于所述基材的所述层叠膜的材质、厚度。
8.根据权利要求1至7中任一项所述的层叠成型品的制造方法，其特征在于，
所述工序(b)中的所述基材的状态为对包含预先层叠于所述基材的所述层叠膜的所述基材实施的加工的状态。
9.根据权利要求1至8中任一项所述的层叠成型品的制造方法，其特征在于，
在所述工序(c)中，通过安装包含缓冲层的所述按压板来准备所述压紧部，所述缓冲层被设置用于分散与所述基材接触时的压力。
10.一种层叠成型品制造系统，其特征在于，
具有对在基材临时粘合或层压有层叠膜的至少一部分的基材进行加压的层叠工序，通过多次重复上述层叠工序来制造层叠有预定层数的层叠膜的层叠成型品，
所述层叠成型品制造系统包括：
收容体，其收容多个按压板，所述多个按压板各自的构造构成体不同；
压紧部，其根据新临时粘合或层压有所述层叠膜的至少一部分的所述基材中的所述基材的状态，能够更换地在主表面设置从多个所述按压板中选择的至少一个所述按压板来按压所述基材；以及
温度控制装置，其控制所述压紧部的温度，以使得所述压紧部的温度成为预定范围内。
11.根据权利要求10所述的层叠成型品制造系统，其特征在于，
所述收容体收容多个所述按压板，所述多个按压板由作为所述按压板的所述构造构成体而物性要素不同的多个构成要素所构成。
12.根据权利要求10或11所述的层叠成型品制造系统，其特征在于，
所述收容体收容多个所述按压板，所述多个按压板包含所述构造构成体中的多个不同的构成要素二维或三维地形成的预定的模式构造。
13.根据权利要求11或12所述的层叠成型品制造系统，其特征在于，
所述收容体收容多个所述按压板，所述多个按压板在所述构造构成体中的所述构成要素的物性要素包括所述构成要素的化学成分组成、厚度、重量、弹性模量、表面硬度、截面硬度、拉伸强度、拉伸屈服强度、压缩强度、堆积密度、截面积、截面形状、投影面积、投影轮廓形状、表面粗糙度、平面度、平行度、热导率、比热容、电导率、介电常数、磁化率、吸水率、反射率以及光泽度中的至少任一者。
14.根据权利要求11至13中任一项所述的层叠成型品制造系统，其特征在于，
还包括选择器，所述选择器根据新临时粘合或层压有所述层叠膜的至少一部分的所述基材的状态，从多个所述按压板中选择至少一个所述按压板。
15.根据权利要求14所述的层叠成型品制造系统，其特征在于，
所述选择器基于所述按压板的所述构造构成体所涉及的由多个种类的弹性体、多个种类的刚体、多个种类的纤维体、多个种类的颗粒体及空隙构成的所述构成要素的组中的至少两个所述构成要素来进行所述选择。
16.根据权利要求14或15所述的层叠成型品制造系统，其特征在于，
所述选择器参照预先层叠于所述基材的所述层叠膜的层叠数作为所述基材的状态。
17.根据权利要求14至16中任一项所述的层叠成型品制造系统，其特征在于，
所述选择器参照预先层叠于所述基材的所述层叠膜的材质、厚度作为所述基材的状态。
18.根据权利要求14至17中任一项所述的层叠成型品制造系统，其特征在于，
所述选择器参照对包含预先层叠于所述基材的所述层叠膜的所述基材实施的加工的状态作为所述基材的状态。
19.根据权利要求10至18中任一项所述的层叠成型品制造系统，其特征在于，
还包括更换装置，其对所述收容体所收容的所述按压板中的所述选择的所述按压板和安装于所述压紧部的所述按压板进行更换。
20.根据权利要求19所述的层叠成型品制造系统，其特征在于，
所述更换装置包括将所述选择的所述按压板在安装于所述压紧部前进行预热的预热装置。
21.根据权利要求10所述的层叠成型品制造系统，其特征在于，
还包括多个所述按压板，多个所述按压板构成为能够设置于所述压紧部，并分别具有被设置用于分散与所述层叠成型品接触时的压力的缓冲层。
22.根据权利要求10所述的层叠成型品制造系统，其特征在于，
所述按压板还包含按压所述基材的按压体，以使临时粘合或层压的所述层叠膜遵循所述基材的凹凸。
技术领域：
[0001]本发明涉及层叠成型品的制造方法以及层叠成型品制造系统。
背景技术：
[0002]通过将诸如树脂膜之类的被层叠材料层叠于具有凹凸的基材来制造电路基板、IC基板等的层叠装置和层叠方法正在被开发中。
[0003]例如，在专利文献1所公开的方法中，对与上下载体膜一起搬入真空层叠装置内的基材的上下部的层叠成型空间进行减压，在将一个空间继续进行减压的同时对另一空间进行加压，由此通过载体膜来对基材进行加压。
[0004]此外，在专利文献2所公开的方法中，形成当将上盘和下盘闭合时能够进行真空抽吸的室，使设置于至少一个盘的弹性膜体向腔室内鼓出而对基材进行加压。
[0005]专利文献3所公开的系统具有：真空层叠装置，其在被减压的腔室内通过加压体对基材进行加压以成型中间层叠材料；以及平坦化冲压装置，其配置于真空层叠装置的后续工序，对中间层叠材料进行加压。该系统的平坦化冲压装置在系杆的部分分别具备加压机构，能够分别地对加压机构进行位置控制。
[0006]现有技术文献
[0007]专利文献
[0008]专利文献1：日本特开2004-058349号公报
[0009]专利文献2：日本特开2013-237230号公报
[0010]专利文献3：日本特开2021-100802号公报
发明内容：
[0011]发明所要解决的课题
[0012]然而，以积层基板的制造工序为代表，在通过将热固性树脂膜这样的层叠膜反复地层叠(层压)到表面加工有微小凹凸的基材来制造多层化的层叠成型品的工序中，由于基材厚度、凹凸分布等形状要素、层叠成型品的密度、硬度等物性要素以及层叠成型品的翘曲、扭曲等缺陷要素等按层叠阶段或批次而不同，因此仅使用上述技术难以恰当应对。特别是，在近年来的高性能化的积层基板的制造过程中，由于施加于基材的凹凸图案具有微细化、深度化以及三维复杂分布化的倾向，与此相伴，上述的各要素叠加且不确定地作用，因此出现了层叠成型品的品质偏差变大的问题。因此，从提高层叠成型品成品率的观点出发，强烈期望层叠成型品的各层叠阶段、各批次的品质稳定。
[0013]本公开是为了解决这样的课题而做出的，提供适当制造多层化的层叠成型品的方法和系统。
[0014]用于解决课题的手段
[0015]本公开的层叠成型品的制造方法具有对临时粘合或层压有层叠膜的至少一部分的基材进行加压的层叠工序，通过多次重复上述层叠工序来制造层叠有预定层数的层叠膜的层叠成型品，所述层叠成型品的制造方法包含以下工序。
[0016]在工序(a)中，预先准备多个按压板，其预定的构造构成体各自不同。按压板也可以包括加热体。
[0017]在工序(b)中，在预先层叠于基材的层叠膜的层数为预定的阶段，根据新临时粘合或层压有层叠膜的至少一部分的基材的状态，从多个按压板中选择一个按压板。
[0018]在工序(c)中，通过将所选择的按压板安装到具有平坦的主表面的一对盘体的各盘体的主表面来准备压紧部。
[0019]在工序(d)中，控制压紧部的温度，以使得压紧部的温度成为预定范围内。
[0020]在工序(e)中，将压紧部按压于临时粘合或层压有层叠膜的至少一部分的基材的表面。
[0021]本公开的层叠成型品的制造方法具有对临时粘合或层压有层叠膜的至少一部分的基材进行加压的层叠工序，通过多次重复上述层叠工序来制造层叠有预定层数的层叠膜的层叠成型品，具有收容体、选择器、盘体、按压板和温度控制装置。收容体收容多个按压板，所述多个按压板各自的构造构成体不同。在预先层叠于基材的层叠膜的层数为预定的阶段，选择器根据新临时粘合或层压有层叠膜的至少一部分的基材的状态，从多个按压板中选择一个按压板。盘体构成压紧部，该压紧部通过在平坦的主表面能够更换地设有一个按压板来按压临时粘合或层压有层叠膜的至少一部分的基材。温度控制装置控制压紧部的温度，以使得压紧部的温度成为预定范围内。
[0022]发明效果
[0023]根据本公开，能够提供适当地制造多层化的层叠成型品的方法和系统。
具体实施方式：
[0036]下面通过发明的实施方式对本发明进行说明，但权利要求书的本发明不限于以下实施方式。此外，实施方式中说明的所有构成并未必是作为解决课题的手段所必需的。为了清楚地说明，适当省略和简化以下的记载和附图。另外，在各图中，对相同的要素标注相同的附图标记，并根据需要省略重复的说明。
[0037]<实施方式>
[0038]参照图1说明实施方式的层叠成型品制造系统的大致构成。图1是实施方式的层叠成型品制造系统1的框图。层叠成型品制造系统1具有用于制造多个层叠膜层压而成的层叠成型品的功能。层叠成型品是在预先加工有微细凹凸的预定的基材上层叠预定层数的层叠膜而成的。在预先层叠于基材的层叠膜的层数为预定的阶段中，层叠成型品制造系统1对新临时粘合有层叠膜的至少一部分的基材进行层压，对层压后的基材的表面分段进行平坦化。层叠成型品制造系统1具有作为主要构成的控制装置10、按压板供给块20和层叠工序块30。
[0039]控制装置10是包含CPU(中央处理单元)、GPU(图形处理单元)或MCU(微控制器单元)等运算装置的电路，适当地控制按压板供给块20和层叠工序块30。控制装置10以能够通信的方式连接至例如按压板供给块20和层叠工序块30分别具有的马达等驱动部、传感器等。
[0040]控制装置10还具有存储器11。存储器11包含闪存等非易失性存储器。由此，控制装置10能够通过启动存储器11中预先存储的预定程序来执行上述控制。存储器11还存储与后述的按压板40相关的按压板数据。按压板数据是示出多个按压板40与基材的层叠状态的对应关系的数据。由此，层叠成型品制造系统1能够选择与基材处的层叠状态对应的按压板40。
[0041]按压板供给块20针对层叠工序块30进行按压板的供给或更换。按压板供给块20由控制装置10控制。按压板供给块20包括作为主要构成的收容体21、选择器22和更换装置23。
[0042]收容体21以能够更换的方式收容多个按压板40。按压板40是在层叠工序块30所具有的层压装置31或平坦化装置32中使用的部件。按压板40在与层叠膜相接的表面具有按压体40'。按压体40'也可以在面对盘体的一侧具有加热体。此外，按压体40'也可以形成各种构造构成体。
[0043]例如，在层压装置31在减压状态下对临时粘合有层叠膜的至少一部分的基材进行层压的工序中，按压体40'按压基材，以使得临时粘合的层叠膜精确地遵循基材的凹凸。即，按压体40'具有与按压前的基材的状态对应的预定的构造构成体，以免例如在按压后在基材的凹凸与层叠膜之间残留气泡、使熔融的层叠膜的一部分向比基材的边缘靠外侧流出、使基材表面的层叠膜产生褶皱、使基材与层叠膜的位置关系偏离预定位置。在这种情况下，作为可以形成构造构成体的构成要素，按压体40'包含由多个种类的弹性体、多个种类的刚体、多个种类的纤维体、多个种类的颗粒体及空隙构成的构成要素的组中的至少两个构成要素来作为选择的基准，并基于该基准进行选择。此外，按压体40'可以具有上述构成要素二维和三维地适当组合的预定的模式构造。
[0044]此外，按压体40'(例如平坦化装置32)对层压有层叠膜的基材的表面进行分段按压，使基材的表面均匀地平坦化。即，按压体40'具有与按压前的基材的状态对应的预定的构造构成体，以使得例如基材的表面在按压后具有预定的平坦度和光滑度。在这种情况下，作为可以形成构造构成体的构成要素，按压体40'包含由多个种类的弹性体、多个种类的刚体、多个种类的纤维体、多个种类的颗粒体及空隙构成的构成要素的组中的至少两个构成要素来作为选择的基准，并基于该基准进行选择。此外，按压体40'可以具有上述构成要素二维和三维地适当组合的预定的模式构造。
[0045]需要说明的是，上述的“多个种类”也可以是指各物性要素不同。即，多个种类也可以意味着作为物性要素的材料的成分组成不同。另外，多个种类也可以意味着，作为成分组成以外的物性要素，由厚度、重量、弹性模量、表面硬度、截面硬度、拉伸强度、压缩强度、堆积密度、截面积、截面形状、投影面积、投影轮廓形状、表面粗糙度、平面度、平行度、热导率、比热容、电导率、介电常数、磁化率、吸水率、反射率、光泽度表示的物性要素中的至少一者不同。
[0046]例如，即使是SUS304构成的不锈钢板，也可以将表面粗糙度为Ra0.4的不锈钢板和表面粗糙度为Ra1.6的不锈钢板解释为不同的多个种类。另外，例如，在由平坦化装置32使用的按压体40'的构造构成体中的、SUS304构成的不锈钢板形成的刚体中，将中心附近的表面粗糙度设为Ra0.4，将周缘附近的表面粗糙度设为Ra1.6，上述“二维地适当组合”也可以是指，将二者的面积比根据在新层压的层叠膜的正下方配置的导电体的状态设为例如5:1。
[0047]另外，“三维地适当组合”也可以是指例如在上述SUS304组成的不锈钢板的内部采用以下构造。即，在不锈钢板内部的中央附近，以与基材的表面平行的方式设有同心圆状的空洞。另外，以与基材的面成角度θ的方式从中央附近向周缘部扩展地设有放射状的空洞。在这种情况下，与配置在层叠膜正下方的导电体的状态对应地来设定角度θ，例如，使得靠近中心的区域的θ＝0度，靠近周缘的区域的θ＝0.2度。
[0048]需要说明的是，上述的二维组合(预定的模式构造)例如能够通过使用适当大小的磨粒进行研磨加工来制造，上述的三维组合例如可以通过激光烧结式的3D打印机来制造。
[0049]就收容体21所收容的多个按压板40而言，在各按压板40所包含的按压体40'中，预定的构造构成体各自不同。这里，构造构成体是指包含由多个种类的弹性体、多个种类的刚体、多个种类的纤维体、多个种类的颗粒体及空隙构成的构成要素的组中的至少两个构成要素来作为选择的基准并基于该基准选择的构造构成体。需要说明的是，构造构成体也可以具有上述构成要素二维和三维地适当组合的预定的模式构造。此外，构造构成体的种类可以包含材料的化学成分组成、厚度、重量、弹性模量、表面硬度、截面硬度、拉伸强度、拉伸屈服强度、压缩强度、堆积密度、截面积、截面形状、投影面积、投影轮廓形状、表面粗糙度、平面度、平行度、热导率、比热容、电导率、介电常数、磁化率、吸水率、反射率及光泽度中的至少任一者。
[0050]即，就收容体21所收容的多个按压板40而言，在各按压板40所包含的按压体40’中，例如材料的化学成分组成可以不同，厚度也可以不同。此外，按压体40'也可以是材料的化学成分组成、厚度相同且硬度、弹性模量不同。多个按压板40根据基材的状态进行选择，并设置于层叠工序块30。按压板40通过选择器22选择并进一步通过选择器22取出。需要说明的是，在层叠工序块30在层叠成型品的制造工序中一次需要多个按压板40的情况下，收容体21收容对应的多个按压板40。
[0051]选择器22从收容体21所收容的多个按压板40中选择至少一个按压板40并取出。选择器22根据基材中的新临时粘合或层压有层叠膜的基材的状态，从多个按压板中选择至少一个按压板40。新临时粘合或层压有层叠膜的基材的状态例如是预先层叠于基材的层叠膜的层叠数。此外，新临时粘合或层压有层叠膜的基材的状态也可以是例如预先层叠于基材的层叠膜的材质、厚度。新临时粘合或层压有层叠膜的基材的状态也可以是对包含预先层叠的层叠膜的基材实施的加工的状态。
[0052]预先对基材实施的加工包含对基材表面的层叠膜实施的切削加工、开孔加工。另外，预先对基材实施的加工包含例如层叠膜中敷设的药剂、添加的金属箔(镀层)的状态。此外，预先对基材实施的加工包含例如将基材以预定温度加热的热处理(固化处理)。需要说明的是，在层叠工序块30在层叠成型品的制造工序中一次需要多个按压板40的情况下，选择器22选择多个按压板40。选择器22将取出的按压板40交给更换装置23。
[0053]更换装置23对收容体21所收容的按压板40中的选择出的按压板40与在层叠工序块30中安装的按压板40进行更换。当更换装置23接收由选择器22取出的更换用的按压板40时，对接收到的按压板40与在层叠工序块30中已经安装的按压板40进行更换。此外，更换装置23将通过更换从层叠工序块30拆下的按压板40交给选择器22。
[0054]层叠工序块30对新临时粘合有层叠膜的基材进行层压，使层压后的基材的表面平坦化。层叠工序块30由控制装置10控制。层叠工序块30具有作为主要构成的层压装置31、平坦化装置32和温度控制装置33。
[0055]层压装置31对新临时粘合到基材的层叠膜进行层压。层压装置31通过经由搬运用膜与基材的表面接触并赋予压力来进行这样的压接处理(层压)。期望的是，层压装置31通过使盘体上下移动来按压层叠膜和将其从按压状态释放，由此进行层压处理。具体来说，期望的是，层压装置31将使用伺服马达或扭矩马达的旋转驱动作为动力，借助滚珠丝杠使盘体上下移动。在这种情况下，更期望的是，在按压体40'的构造构成体的构成要素中，层压装置31在面向基材的主表面中使用硅橡胶、氟树脂等具有耐热性的弹性体。
[0056]需要说明的是，层压装置31不限于上述方式，也可以通过使用具有塑性和耐热性的树脂制的膜片对层叠膜进行按压来进行层压。或者，层压装置31例如也可以具有辊，通过使辊在层叠成型品的表面滚动来进行层压。此外，层压装置31可以通过与上述方式不同的方式来进行层压。
[0057]层压装置31具有压紧部50。压紧部50包含按压板40。按压板40也可以在构造构成体中包含加热体51。此外，层压装置31将按压板40能够更换地保持。为了便于更换，期望的是，能够更换地由层压装置31保持的按压板40在机器人臂等可接近的位置和方向上具有螺栓紧固部。需要说明的是，作为能够更换的机构，除了如上所述进行螺栓紧固的机构之外，按压板40可以具有使用液压缸、气缸等单触式卡盘的机械式紧固机构，也可以具有使用电磁体、抽吸装置等以吸附力为原理的紧固机构。
[0058]平坦化装置32对由层压装置31进行了层压的基材的表面进行平坦化。平坦化装置32具有作为主要构成的压紧部50。压紧部50通过向新层压的层叠膜的表面施加预定的热和压力来使基材的表面平坦化。
[0059]压紧部50包含按压板40。按压板40也可以在构造构成体中包含加热体51。加热体51包含由温度控制装置33控制温度的部件。由此，按压板40向基材的表面传递热、压力。期望的是，平坦化装置32通过使盘体上下移动来按压层叠膜和将其从按压状态释放，从而进行平坦化处理。具体而言，期望的是，平坦化装置32将使用伺服马达或扭矩马达的旋转驱动作为动力，借助滚珠丝杠使盘体上下移动。在该情况下，更期望的是，按压体40'所具有的构造构成体的构成要素为在面对基材的主表面中的表面粗糙度在中心部分和周缘部分不同的不锈钢板这种刚体。
[0060]此外，平坦化装置32将按压板40能够更换地保持。为了便于更换，期望的是，由平坦化装置32能够更换地保持的按压板40在机器人臂等能够接近的位置和方向上具有螺栓紧固部。需要说明的是，作为能够更换的机构，除了如上所述进行螺栓紧固的机构之外，按压板40可以具有使用液压缸、气缸等单触式卡盘的机械式紧固机构，也可以具有使用电磁体、抽吸装置等的以吸附力为原理的紧固机构。
[0061]在基材上的层叠膜为多层的情况下，根据预先层叠于基材的层叠膜的材质、层叠数、针对预先层叠于基材的层叠膜的厚度、平坦度、平滑度的累积公差、或者预先对基材、层叠膜等实施的加工状态等，适合用于层压、平坦化的按压体40'的构造构成要素不同。因此，层叠成型品制造系统1根据按压体40'所具有的构造构成要素适当地更换按压板40。由此，层叠成型品制造系统1能够适当地执行层压或平坦化处理。
[0062]温度控制装置33控制平坦化装置32所具有的加热体51的温度。例如，温度控制装置33包含热敏电阻和加热器，控制加热器以使得加热体51达到设定的温度。由此，层叠成型品制造系统1控制压紧部50的温度，以使得使基材平坦化时的压紧部50的温度成为预定的范围内。温度控制装置33由控制装置10控制。
[0063]图2是示出层叠成型品制造系统进行的层叠成型品的制造方法的流程图。本公开的层叠成型品的制造方法具有对临时粘合或层压有层叠膜的至少一部分的基材进行加压的层叠工序，通过多次重复该层叠工序来制造层叠有预定层数的层叠膜的层叠成型品，该制造方法由使用上述层叠成型品制造系统1的用户使用层叠成型品制造系统1来进行。
[0064]首先，在工序(a)中，用户预先准备多个按压板40，该多个按压板各自的预定的构造构成体不同(步骤S11)。
[0065]在工序(a)中的预定的构造构成体是指，在按压体40’中，包含由多个种类的弹性体、多个种类的刚体、多个种类的纤维体、多个种类的颗粒体及空隙构成的构成要素的组中的至少两个构成要素来作为选择的基准，并基于该基准选择的构造构成体。需要说明的是，构造构成体具有上述构成要素二维和三维地适当组合的预定的模式构造。此外，构造构成体的种类包含材料的化学成分组成、厚度、重量、弹性模量、表面硬度、截面硬度、拉伸强度、拉伸屈服强度、压缩强度、堆积密度、截面积、截面形状、投影面积、投影轮廓形状、表面粗糙度、平面度、平行度、热导率、比热容、电导率、介电常数、磁化率、吸水率、反射率和光泽度中的至少任意一者。用户从制造层叠成型品的工序开始，按照基材的层叠工序来适当准备按压板40。
[0066]接下来，在工序(b)中，层叠成型品制造系统1根据新临时粘合或层压有层叠膜的至少一部分的基材的状态，从多个按压板中选择至少一个按压板40(步骤S12)。
[0067]工序(b)中的基材的状态例如是预先层叠于基材的层叠膜的层叠数量。另外，工序(b)中的基材的状态也可以是例如预先层叠于基材的层叠膜的材质、厚度。工序(b)中的基材的状态也可以是例如对包含预先层叠的层叠膜的基材实施的加工的状态。预先对基材实施的加工包含对基材表面的层叠膜实施的切削加工、开孔加工。此外，预先对基材实施的加工包含例如层叠膜中敷设的药剂、添加的金属箔(镀层)的状态、累积厚度、总敷设面积。此外，预先对基材实施的加工包含例如将基材以预定温度加热的热处理(固化处理)。
[0068]接下来，在工序(c)中，层叠成型品制造系统1通过将上述选择的按压板40安装至盘体的主表面来准备压紧部50(步骤S13)。
[0069]另外，在工序(c)中，层叠成型品制造系统1也可以通过安装包含按压体40’的按压板40来准备压紧部50，该按压体40’从由多个种类的弹性体、多个种类的刚体、多个种类的纤维体、多个种类的颗粒体及空隙构成的组中选择至少两者并将该构成要素二维和三维地适当组合而成。
[0070]接下来，在工序(d)中，层叠成型品制造系统1控制压紧部50的温度，使得压紧部50的温度成为预定范围内(步骤S14)。
[0071]接下来，在工序(e)中，层叠成型品制造系统1将压紧部50按压到新临时粘合或层压有层叠膜的基材的表面(步骤S15)。
[0072]接下来，在工序(f)中，每当在基材上新临时粘合或层压层叠膜时，层叠成型品制造系统1执行从工序(b)到工序(e)为止的层叠处理。即，层叠成型品制造系统1在层叠成型品的制造工艺中判定层叠处理是否结束(步骤S16)。在判定为层叠处理结束的情况下(步骤S16：是)，层叠成型品制造系统1结束处理。另一方面，在未判定为层叠处理结束的情况下(步骤S16：否)，层叠成型品制造系统1返回工序(b)(步骤S12)，重复从工序(b)到工序(e)为止的层叠处理。需要说明的是，在重复进行层叠处理的情况下，也可以在工序(b)之前对基材、层叠于基材的层叠膜等实施预定的加工。对基材、层叠膜等实施的加工包含例如对基材表面的层叠膜实施的切削加工、开孔加工。另外，对基材、层叠膜实施的加工包含例如对基材表面的层叠膜实施的药剂敷设、金属箔(镀层)添加。此外，对基材、层叠膜实施的加工包含例如将基材以预定温度加热的热处理(固化处理)。需要说明的是，在层叠工序块30在层叠成型品的制造工序中一次需要多个按压板40的情况下，选择器22选择多个按压板40。
[0073]接下来，举出具体例来说明层叠成型品制造系统1。图3是示出层叠工序块30的具体例的构成图。图3所示的层叠工序块30示出从侧面方向观察的构成的概略。
[0074]需要说明的是，为了便于说明构成要素的位置关系，在图3中标注右手系的正交坐标系。另外，在图3以后的图中，在标注有正交坐标系的情况下，这些正交坐标系的X轴、Y轴、Z轴方向分别与图1的X轴、Y轴、Z轴方向一致。
[0075]图3所示的层叠工序块30具有作为主要构成的层压装置31、平坦化装置32和温度控制装置33。层叠工序块30对基材A1进行按压并实施层压处理之后，对基材A1的表面进一步阶段性地实施按压并实施分段平坦化处理。基材A1在被夹在支承下部的下部搬运用片材36和覆盖上部的上部搬运用片材35之间的状态下，被从图中右侧向左侧搬运。层叠工序块30中投入的基材A1被向图3中配置在右侧的层压装置31搬运。
[0076]上部搬运用片材35和下部搬运用片材36通过将例如聚对苯二甲酸乙二醇酯成型为带状而形成。上部搬运用片材35和下部搬运用片材36在图3所示的层叠工序块30的左右端被卷绕，通过在左右方向上同步地进行卷绕和放出，从而将基材A1以夹入的状态进行搬运。
[0077]层压装置31在接收基材A1后，在上下方向上赋予压力以对临时粘合的层叠膜进行层压。层压装置31例如具有上部层压处理部311和下部层压处理部312。层压装置31通过将基材A1由上部层压处理部311和下部层压处理部312夹入并施加压力来进行层压处理。层压装置31也可以是将基材A1由上部层压处理部311和下部层压处理部312夹入并形成能够减压的腔室的层压装置。在层压工序结束后，基材A1通过上部搬运用片材和下部搬运用片材向平坦化装置32搬运。
[0078]图3所示的平坦化装置32包括第一平坦化装置32A和第二平坦化装置32B。第一平坦化装置32A接受在层压装置31中实施了层压的基材A1，并对所接受的基材A1实施平坦化处理。由第一平坦化装置32A实施平坦化处理后的基材A1通过上部搬运用片材35和下部搬运用片材36向第二平坦化装置32B搬运。第二平坦化装置32B接受通过第一平坦化装置32A实施平坦化处理后的基材A1，对所接受的基材A1进一步实施平坦化处理。通过这样的分段平坦化处理，提高层叠成型品在制造工序中的生产率。通过第二平坦化装置32B实施平坦化处理后的基材A1由上部搬运用片材35和下部搬运用片材36向平坦化装置32的外部搬运。
[0079]需要说明的是，在本公开中，在提及平坦化装置32的情况下，其包括第一平坦化装置32A和第二平坦化装置32B两者。为了提高生产率，图3所示的平坦化装置32设有两个平坦化装置，以便能够分段执行两次平坦化处理，平坦化装置32所具有的平坦化装置可以是一个，也可以是三个以上。
[0080]温度控制装置33连接于层压装置31，具有控制层压装置31中的预定部位的温度的功能。此外，温度控制装置33与第一平坦化装置32A和第二平坦化装置32B连接，并且控制它们各自具有的加热体51的温度。由此，层压装置31、第一平坦化装置32A以及第二平坦化装置32B对基材A1施加预定的热和压力。需要说明的是，温度控制装置33能够将层压装置31、第一平坦化装置32A以及第二平坦化装置32B分别控制为不同的温度。
[0081]接下来，参照图4进一步说明平坦化装置32。图4是示出平坦化装置32的具体例的构成图。平坦化装置32具有作为主要构成的基座321、加压装置322、固定盘体323、可动盘体324、引导孔325、引导轴326。
[0082]基座321支承引导轴326，该引导轴用于使得加压装置322在平坦化装置32的下部滑动。即，加压装置322被基座321支承为能够上下移动。加压装置322具有预定的驱动装置，并与可动盘体324的下部卡合，使可动盘体324上下移动。使可动盘体324上下移动的机构没有特别限定，为了对基板进行正确的层压处理和均匀的平坦化处理，期望的是，将使用伺服马达或扭矩马达的旋转驱动作为动力，经由滚珠丝杠来使其上下移动。使可动盘体324上下移动的机构不限于上述机构，也可以为使用液压、气缸的机构。
[0083]固定盘体323固定于由基座321支承的引导轴326的上端，并在下部保持按压板40。可动盘体324具有供引导孔325穿插的引导孔325，由引导轴326在上下方向上能够移动地支承。另外，可动盘体324在下部与加压装置322卡合。由此，可动盘体324被加压装置322控制而上下移动。另外，可动盘体324在其上表面保持按压板40。
[0084]引导轴326是从基座321向上方延伸的轴，其在上端支承固定盘体323，并在基座321与固定盘体323之间将可动盘体324支承为能够沿上下方向移动。引导轴326也可以包含例如滚珠花键轴，通过滚珠花键轴在上下方向上引导可动盘体324。引导轴326也可以被称为系杆。
[0085]在上述构成中，平坦化装置32在可动盘体324位于下方的状态下，接收由上部搬运用片材35和下部搬运用片材36搬运的基材A1。然后，在基材A1停止于预定位置的状态下，平坦化装置32驱动加压装置322，将可动盘体324向上方推起。由此，平坦化装置32使固定盘体323具有的按压板40与基材A1的上表面接触，并使可动盘体324具有的按压板40与基材A1的下表面接触。然后，平坦化装置32通过压紧部50将基材A1的上下表面压紧。
[0086]参照图5进一步说明平坦化装置32。图5是示出平坦化装置中的加工区域的构成的具体例的构成图。图5所示的平坦化装置32示出了对基材A1进行压紧的区域。
[0087]按压板40包括绝热部52、加热体51和按压体40'。绝热部52是被设置用于抑制加热体51与固定盘体323之间或加热体51与可动盘体324之间的热传递的部件。加热体51例如是长方体状的部件，分别固定于固定盘体323和可动盘体324。此外，加热体51具有多个筒式加热器330。筒式加热器330基于由温度测定机构测定的温度信息，通过温度控制装置33来控制输出。温度测定机构可以是通过使热电偶与测定对象接触来进行测定的机构，或者也可以是通过使用辐射式温度计而不使其与测定对象接触来进行测定的机构。另外，温度测定机构也可以是这些以外的机构。优选的是，加热体51具有较高的刚性和较高的蓄热量。由此，压紧部50能够适当地压紧基材A1。
[0088]加热体51在靠近基材A1一侧的主表面上将按压体40'能够更换地保持。需要说明的是，加热体51也可以具有橡胶加热器、板式加热器来代替筒式加热器330。或者，加热体51也可以具有使水蒸气、油等热介质流通的流路来代替筒式加热器330。另外，加热体51也可以设置成通电部相对于筒式加热器330能够拆装。同样地，在加热体51具有橡胶加热器、板式加热器来代替筒式加热器330的情况下，通电部也可以设置成相对于上述加热器能够拆装。另外，在加热体51具有使水蒸气、油等热介质流通的流路来代替筒式加热器330的情况下，可以使用具有例如阀的接头将热介质的供给口和回收口相对于热介质的供给源和回收源能够拆装。
[0089]按压体40'能够更换地安装于加热体51的主表面。加热体51和按压体40'的端部也可以通过例如夹具固定。加热体51与按压体40'的端部也可以通过例如螺栓而螺纹连接。
[0090]图6是示出按压板40的具体例的构成图。图6示出了可动盘体324上设置的按压板40的截面。按压板40从与可动盘体324接触一侧起依次具有作为主要构成的绝热部52、加热体51以及按压体40'。
[0091]需要说明的是，图6所示的按压板40示出在可动盘体324上设置的构造，设置在固定盘体323上的按压板40也具有同样的构造。此外，有时将固定盘体323所具有的按压板40称为上部按压板，将可动盘体324所具有的按压板40称为下部按压板。类似地，有时将上部按压板中包含的按压体40'称为上部按压体，将下部按压板中包含的按压体40'称为下部按压体。
[0092]在上述构成中，在加热体51与可动盘体324之间夹设有绝热部52，抑制加热体51与可动盘体324之间的热交换。由此，平坦化装置32更高效地对加热体51进行加热。绝热部52可以由例如热导率较低的树脂、金属、陶瓷或纤维材料等构成。
[0093]加热体51是长方体状的金属部件，可以由例如铁、铝、黄铜等金属构成。由此，加热体51具有在层压处理、平坦化处理中压紧基材A1时不变形程度的刚性。此外，加热体51在层压处理、平坦化处理中为了向基材A1的表面赋予预定的热而具有充足的热容量。加热体51由温度控制装置33控制成80摄氏度至200摄氏度左右。
[0094]按压体40'至少具有与作为层压处理、平坦化处理的对象的基材A1或搬运基材A1的搬运用片材接触的接触层42来作为构造构成体。接触层42是在层压装置31中具有例如耐热性的树脂等弹性体，在平坦化装置32中具有例如金属、陶瓷等刚性体或具有耐热性的树脂等弹性体。此外，按压体40'可以在接触层42与加热体51之间具有缓冲层41作为构造构成体，该缓冲层41分散在与基材A1接触时的压力。缓冲层41是具有例如耐热性的树脂等弹性体。需要说明的是，缓冲层41及接触层42不限于以上所述，也可以具有预定的模式构造，就该模式构造而言，作为选择的基准，包含由多个种类的弹性体、多个种类的刚体、多个种类的纤维体、多个种类的颗粒体及空隙构成的构成要素的组中的至少两个构成要素，基于该基准进行选择，上述模式构造由上述构成要素二维和三维地适当组合而成。
[0095]缓冲层41适当地分散接触层42在层压处理和平坦化处理中受到的压力。缓冲层41例如使用树脂、橡胶、纸、纤维增强材料或无纺布等。缓冲层41的厚度例如为100微米至5毫米左右。在层压处理中，接触层42是树脂板，能够采用例如100微米至5毫米左右的硅树脂、氟树脂。另外，在平坦化处理中，接触层42为金属板，能够采用例如100微米至5毫米左右的不锈钢板。优选的是，即使在接触层42使用金属板这样的刚性体的情况下，针对在压紧处理中负荷的荷载而仅发生微小弹性变形程度的刚性。
[0096]需要说明的是，弹性体与刚体的区别例如可以基于弹性模量。即，以弹性模量为30千牛每平方毫米(kN/mm2)作为区别的基准，也可以具有小于该基准的弹性模量的情况设为弹性体，将具有该基准以上的弹性模量的情况设为刚体。此外，刚性的大小可以由弹性模量的大小来表示。另外，优选接触层42的表面粗糙度小。因此，在接触层42使用金属、陶瓷的情况下，优选实施达到镜面程度的最终研磨加工。此外，接触层42也可以在表面实施例如氮化钛(TiN)等陶瓷覆膜、铬、镍等镀层、类金刚石碳(DLC)等润滑覆膜这样的涂层。
[0097]以上说明了层压装置31和平坦化装置32所具有的压紧部50的构成。需要说明的是，在层压装置31的情况下，层压装置31具有用于层压处理的真空室，在该真空室中具有压紧部50。
[0098]接下来，参照图7对基材A1进行说明。图7是示出基材的具体例的构成图。图7所示的基材A1被称为积层基板或多层基板。积层基板或多层基板是层叠成型品的一种实施方式。基材A1在基材A10的两面层叠有层叠膜A11至A23，各层适当地进行开孔加工并被进一步附加导电箔。基材A10例如使用环氧类热固性树脂、环氧类树脂与玻璃纤维的复合材料、或聚对苯二甲酸乙二醇酯等树脂。层叠膜例如使用聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚酰亚胺等树脂。
[0099]在上述构成中，在基材A1中，首先形成基材A10，对所形成的基材A10实施第一层叠工序、第二层叠工序和第三层叠工序。下面说明这些工序的概要。
[0100]首先，片状的基材A10在实施进行开孔加工等后实施镀铜，进而通过蚀刻形成布线图案。由此，例如形成过孔A30，基材A10的加工完成。
[0101]接下来，在第一层叠工序中，层叠膜A11和层叠膜A21被层叠于基材A10。在此，临时粘合有层叠膜A11和层叠膜A21的基材A10被投入层叠成型品制造系统1。在层叠成型品制造系统1中，层压装置31对临时粘合有层叠膜A11和层叠膜A21的基材A1实施层压处理，进一步地，平坦化装置32使层压后的层叠膜A11和层叠膜A21的表面平坦化。被从层叠成型品制造系统1取出的基材A1随后通过实施行镀铜和蚀刻而形成图案A31、过孔A32等。
[0102]接下来，在第二层叠工序中，与上述第一层叠工序同样地，基材A1临时粘合层叠膜A12及层叠膜A22并被层压和平坦化。另外，在基材A1中，针对层叠膜A12及层叠膜A22实施镀铜及蚀刻。
[0103]进一步地，在第三层叠工序中，与上述第一层叠工序和第二层叠工序同样地，基材A1临时粘合层叠膜A13和层叠膜A23并被层压和平坦化，通过镀层等形成铜箔的图案。
[0104]以上，对基材A1的构成以及层叠工序的概要进行了说明。在此所示的基材A1在基材A10的两面分别层叠三层层叠膜。另外，基材A1的各个层叠膜具有各自的铜箔图案、过孔等。因此，在进行层压处理、平坦化处理的情况下，优选按压板40的构成构造体按照各层叠层分别设定。
[0105]接下来，参照图8说明层叠工序与按压板40之间的关系。图8是示出按压板与层叠工序的对应模式的例子的表。图8所示的表示出分别安装于第一平坦化装置32A和第二平坦化装置32B的按压板在各个层叠工序中的构成。
[0106]第一平坦化装置32A的固定盘体323上安装的上部按压板在第一层叠工序中具有构成No.1-11。第一平坦化装置32A的可动盘体324上安装的下部按压板在第一层叠工序中具有构成No.1-12。类似地，第二平坦化装置32B的上部按压板在第一层叠工序中具有构成No.1-13。第二平坦化装置32B的下部按压板在第一层叠工序中具有构成No.1-14。
[0107]以下，类似地，在第二层叠工序中，第一平坦化装置32A的上部按压板具有构成No.2-11，下部按压板具有构成No.2-12。第二平坦化装置32B的上部按压板具有构成No.2-13，下部按压板具有构成No.2-14。
[0108]在第三层叠工序中，第一平坦化装置32A的上部按压板具有构成No.3-11，下部按压板具有构成No.3-12。第二平坦化装置32B的上部按压板具有构成No.3-13，下部按压板具有构成No.3-14。
[0109]如上所述，按压板40的构造构成体可以根据各层的层叠工序分别设定。此外，按压板40的构造构成体也可以根据平坦化装置32中的按压顺序、配置等来设定。另外，按压板40的构造构成体根据进行按压的面上的层压有层叠膜的基材的状态来设定。这里，层压有层叠膜的基材的状态例如是预先层叠于基材的层叠膜的层叠层数。另外，层压有层叠膜的基材的状态例如也可以是预先层叠于基材的层叠膜的材质、厚度等。层压有层叠膜的基材的状态例如可以是对包含预先层叠的层叠膜的基材实施的加工的状态。预先对基材实施的加工包括对基材表面的层叠膜实施的切削加工、开孔加工等。此外，预先对基材实施的加工包含例如层叠膜中敷设的药剂、附着的金属箔(镀层)的状态、累积厚度、总敷设面积等。此外，预先对基材实施的加工包含例如将基材以预定的温度进行加热的热处理(固化处理)。使用层叠成型品制造系统1的用户在制造层叠成型品时，预先鉴于层叠工序来确定与图8所示的各工序和安装位置对应的按压板40的构造构成体。
[0110]此外，在确定上述构成时，用户参照缓冲层41和接触层42的构成要素。缓冲层41和接触层42的构成要素是指，包含由多个种类的弹性体、多个种类的刚体、多个种类的纤维体、多个种类的颗粒体及空隙构成的构成要素的组中的至少两个构成要素来作为选择的基准，并基于该基准选择的构成要素。此外，这些构成要素可以具有二维和三维地适当组合的预定的模式构造。上述“多个种类”可以意味着由材料的成分组成、厚度、重量、弹性模量、表面硬度、截面硬度、拉伸强度、拉伸屈服强度、压缩强度、堆积密度、截面积、截面形状、投影面积、投影轮廓形状、表面粗糙度、平面度、平行度、热导率、比热容、电导率、介电常数、磁化率、吸水率、反射率、光泽度表示的物性要素中的至少一者不同。需要说明的是，构造构成体的组合不限于以上所述。用户鉴于这样的构造构成体，从各种组合中确定适合于各个工序的构成。
[0111]此外，用户在分别准备具有与图8所示的信息对应的构成的各个按压板40时，将准备好的按压板40设置于按压板供给块20的收容体21。此外，用户将图8所示的信息存储在层叠成型品制造系统1的存储器11中。由此，层叠成型品制造系统1能够将各层叠工序中的按压板40安装于平坦化装置32。
[0112]需要说明的是，图8所示的构成也可以分别具有相同的构成。即，例如，在第二层叠工序中设定于第一平坦化装置32A的上部按压板的构成No.2-11和在第三层叠工序中设定于第一平坦化装置32A的上部按压板的构成No.3-11也可以是相同的。或者，在第二层叠工序中设定于第一平坦化装置32A的构成No.2-11、构成No.2-12和在第二层叠工序中设定于第二平坦化装置32B的构成No.2-13、构成No.2-14也可以是相同的。由此，收容体21也可以收容多个相同种类的按压板40。
[0113]接下来，参照图9说明按压板供给块20的具体构成。图9是示出层叠成型品制造系统的具体例的图。图9所示的按压板供给块20设置于层叠工序块30的旁边，针对平坦化装置32更换按压板40。
[0114]更换装置23对收容体21所收容的多个按压板40中所选择的按压板40和安装于压紧部50的按压板40进行更换。按压板供给块20所具有的更换装置23具有作为主要构成的搬运部230、搭载部231、旋转轴232和轨道部233。
[0115]搬运部230支承搭载部231，并由轨道部233支承为能够沿水平方向移动。由此，搬运部230能够使搭载部231沿着轨道部233移动。
[0116]搭载部231由搬运部230支承，并构成为能够在搬运部230上沿图9中的Y方向直线移动以及以旋转轴232为中心绕Z轴转动。此外，搭载部231能够在与选择器22之间进行按压板40的交接，将从选择器22接受的按压板22能够搬运地搭载。搭载部231将所搬运的按压板40安装于平坦化装置32的压紧部50。此外，搭载部231将安装于压紧部50的按压板40拆下。
[0117]轨道部233将搬运部230支承为能够沿着设定的轨道移动。图9所示的轨道部233被设定为，轨道与层叠工序块30的上部搬运用片材35平行地延伸，搬运部230能够在选择器22与平坦化装置32之间往复移动。
[0118]一并参照图10进一步说明按压板供给块20。图10是示出收容体21和选择器22的具体例的图。
[0119]收容体21将多个按压板40以能够更换的方式收容。图10所示的收容体21被构成为使得多个按压板40能够沿上下方向堆叠。收容体21结束的按压板40根据参照图8说明的信息来收容。收容于收容体21的按压板40通过选择器22取出。此外，通过选择器22取出的按压板40通过选择器22收容。
[0120]选择器22从收容体21所收容的多个按压板40中选择一个按压板40并取出。选择器22将从收容体21取出的按压板40交给更换装置23。此外，选择器22将从更换装置23接受的按压板40收容于收容体21的预定场所。为了实现上述功能，选择器22构成为使得搭载按压板40的托盘部能够沿上下方向移动。此外，选择器22具有用于交接按压板40的机构。
[0121]接下来，参照图11和图12说明按压板供给块20的动作。图11是示出按压板供给块20的动作的第一图。这里所示的按压板供给块20的动作是在层叠工序块30中的层压装置和平坦化装置32不实施层压处理和平坦化处理时所进行的动作。这里，作为一例，将按照时刻T的流程说明更换第一平坦化装置32A所具有的按压板40A和收容体21所具有的按压板40S的动作。
[0122]首先，在时刻T1，选择器22从收容体21选择预定的按压板40S并取出。然后，选择器22将取出的按压板40S交给更换装置23。需要说明的是，此时，层叠成型品制造系统1的控制装置10参照存储器11，选择新安装到第一平坦化装置32A的按压板40。更换装置23在搭载更换所涉及的按压板40S后，沿着轨道部233开始移动。
[0123]接下来，在时刻T1之后的时刻T2，在搭载有按压板40S状态下在轨道部233上移动的更换装置23停止在第一平坦化装置32A附近。此外，搭载部231为了取出按压板40A而接近按压板40A。
[0124]接下来，在时刻T2之后的时刻T3，搭载部231将按压板40A拆下，搭载所拆下的按压板40A，并向从第一平坦化装置32A离开的方向移动预定距离。
[0125]接下来，在时刻T3之后的时刻T4，更换装置23的搭载部231以旋转轴232为中心旋转180度，以对按压板40A和按压板40S进行更换。
[0126]参照图12继续说明按压板供给块20的动作。在时刻T4之后的时刻T5，搭载部231使用于更换的按压板40S靠近第一平坦化装置32A。
[0127]接下来，在时刻T5之后的时刻T6，更换装置23将按压板40S安装于压紧部50。在按压板40S安装于压紧部50时，接下来搭载部231开始向从第一平坦化装置32A离开的方向移动。
[0128]接下来，在时刻T6之后的时刻T7，搭载有已拆下的按压板40A的更换装置23沿着轨道部233朝向选择器22移动。
[0129]接下来，在时刻T7之后的时刻T8，更换装置23将按压板40A交给选择器22。然后，选择器22将从更换装置23接受的按压板40A收容于收容体21。
[0130]以上，说明了按压板供给块20的动作。利用上述构成，层叠成型品制造系统1能够对应于基材各层中的层叠工序来适当地更换按压板40。需要说明的是，上述构成或动作示出按压板供给块20的一例，按压板供给块20的构成或动作不限于此。例如，收容体21也可以取代选择器22进行上下移动。按压板供给块20所具有的机构也可以使用例如多关节机器人来代替上述构成。例如，更换装置23也可以取代轨道部233和搬运部230而通过机器人臂来搬运搭载部231。在层叠成型品制造系统1中，层叠工序块30中的层压装置31也可以与层叠成型品制造系统1分离。
[0131]更换装置23也可以包含预热装置，该预热装置将所选择的按压板40在安装至压紧部50之前进行预热。收容体21也可以具有保温装置，该保温装置预先将按压板40控制为预定的温度并保温。特别地，在按压板40包含大热容量的加热体51、绝热部52的情况下，期望将其预先预热至预定的温度以提高生产率。
[0132]选择器22和更换装置23的功能的至少一部分可以由层叠成型品制造系统1的用户承担。即，按压板供给块20也可以使其动作的一部分手动地操作，以取代全部自动控制。
[0133]另外，在本实施方式中，作为按压板40，说明了包含缓冲层41和接触层42的构成，但收容体21收容且更换装置23进行更换的按压板40也可以是其中一者。或者，收容体21收容且更换装置23所更换的按压板40也可以包含加热体51、绝热部52。
[0134]如上所述，根据实施方式，根据本公开，能够提供适当地制造多层化的层叠成型品的方法和系统。需要说明的是，上述层叠成型品被称为积层基板或多层基板。因此，本公开的技术也可以被称为积层基板的制造方法和积层基板制造系统或多层基板的制造方法和多层基板制造系统。
[0135]需要说明的是，本发明并非限定于上述实施方式，能够在不脱离其主旨的范围内进行适当变更。
[0136]本申请要求基于2022年1月5日提交的日本特愿2022-000385的优先权，将其全部公开内容并入本说明书。
[0137]附图标记说明
[0138]1层叠成型品制造系统
[0139]10控制装置
[0140]11存储器
[0141]20按压板供给块
[0142]21收容体
[0143]22选择器
[0144]23更换装置
[0145]30层叠工序块
[0146]31层压装置
[0147]32平坦化装置
[0148]33温度控制装置
[0149]35上部搬运用片材
[0150]36下部搬运用片材
[0151]40按压板
[0152]40'按压体
[0153]41缓冲层
[0154]42接触层
[0155]50压紧部
[0156]51加热体
[0157]52绝热部
[0158]230搬运部
[0159]231搭载部
[0160]232旋转轴
[0161]233轨道部
[0162]321基座
[0163]322加压装置
[0164]323固定盘体
[0165]324活动盘体
[0166]325引导孔
[0167]326引导轴
[0168]330筒式加热器
[0169]A1层叠成型